포커토너먼트 Province 과학 및 기술 성취도 평가 게시판
2007 Issue 3(총 이슈 3)
포커토너먼트 Provincial Science and Technology Department of Development Department2007 년 5 월 30 일
5 월 30 일우리 부서에서 조직 한 심의 과학 기술 부서의 사무실, "New Power Semiconductor Devices.VDMOS 개발을 포함한 25 개의 포커토너먼트 결과는 평가 규정을 준수하며 현재 발표됩니다.
성취 이름 :새로운 전력 반도체 포커토너먼트VDMOS 개발
완료 단위 :포커토너먼트 Hua Microelectronics Co., Ltd.
결과의 출처 :계획되지 않은 자체 선택 포커토너먼트
약속 번호 :포커토너먼트포커토너먼트포커토너먼트口 �2007] no.
업적 소개 :이 포커토너먼트는 새로운 전력 반도체 장치를위한 것입니다VDMO의 산업화를위한 주요 기술이 개발되었습니다. 장치 구조의 설계에서, 둔각 각도는 직각 대신 사용되어 채널의 모서리에서 전하의 농축을 줄이고, 로컬 전기장을 감소시키고, 장치 준비 포커토너먼트세스의 분해 전압을 증가시킵니다 , 기질 거칠기 기술이 사용되며, 이온 임플란트로서의 고 에너지의 조합 및 이산화물 보호 층 기술이 반도체 재료에 대한 고 에너지 이온 임플란트의 손상 효과를 피할뿐만 아니라 계면 인터셉터 농도는 균일 성을 향상시킵니다.
과학 연구
